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加熱平板與晶圓夾盤系列

產品簡介：Instec加熱平板允許同時進行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔，視型號不同有或沒有上蓋。

  • 更新時間：2019-03-07
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詳細介紹

Instec加熱平板允許同時進行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔，視型號不同有或沒有上蓋。

本品適用于反射式顯微鏡、顯示面板測試、半導體檢測、原子力顯微鏡等應用。

Instec溫控晶圓夾盤專用于樣品電測試。相比加熱平板則多了用于固定樣品的真空吸附槽。

本品適用于樣品電測試，整體高度很小，可集成進探針臺使用。

冷熱平板TP104SC，樣品區100x100mm半導體控溫，增加氣密上蓋

一個典型的圓形溫控晶圓夾盤

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